特許

J-GLOBAL ID：200903043575456223

ターボ分子ポンプ、及びターボ分子ポンプシステム

発明者： 山本 雅之 ,  籠谷 美也子
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 川井 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-170051
公開番号（公開出願番号）：特開2001-349295
出願日： 2000年06月07日
公開日（公表日）： 2001年12月21日
要約：

【要約】【課題】 配線や設置が容易で、ノイズによる影響を受け難く、低コスト且つ低電力で複数台使用可能なターボ分子ポンプシステムを提供すること。【解決手段】 ターボ分子ポンプ1Aには、そのモータ30にモータ駆動電流を供給するモータ駆動回路51と、モータ駆動電流を制御するためのディジタルの制御信号を外部から受信し該制御信号に従ってモータ駆動回路51から供給されるモータ駆動電流を制御する第1の光通信インターフェイス回路56を備え、外部に、ターボ分子ポンプ1Aのモータ駆動電流を制御するディジタルの制御信号を生成する制御装置80を備え、制御装置80で生成される制御信号を光ファイバケーブル2によりターボ分子ポンプ1Aの第1の光通信インターフェイス回路56に伝送するターボ分子ポンプシステム。

請求項（抜粋）：

外部の容器に連接され該容器内の気体の吸入口を有する外装体と、前記外装体内に配置されるステータ部と、前記外装体内に配置され、前記ステータ部とともに前記吸入口から吸入された前記気体の移送部を形成するロータ部と、前記ロータ部を前記ステータ部に対して回転可能に支承する軸受と、前記ロータ部を回転駆動させるモータと、外部の電源に接続され、前記モータに駆動電流を供給するモータ駆動手段と、モータの前記駆動電流を検出し、検出結果に基づいたディジタルの検出信号を外部の制御装置に出力する電流信号出力手段とを備え、前記モータ駆動手段は、前記検出信号に基づいて前記外部の制御装置から出力される前記モータへの駆動電流制御のためのディジタルの駆動信号を受信し、受信した駆動信号に応じて前記駆動電流を制御し出力することを特徴とするターボ分子ポンプ。

IPC (3件)：

F04D 19/04 ,  F04D 27/00 ,  F04D 27/00 101

FI (4件)：

F04D 19/04 H ,  F04D 27/00 P ,  F04D 27/00 F ,  F04D 27/00 101 N

Fターム (29件)：

3H021AA01 ,  3H021AA04 ,  3H021AA08 ,  3H021BA01 ,  3H021BA02 ,  3H021BA11 ,  3H021BA12 ,  3H021BA20 ,  3H021BA30 ,  3H021CA00 ,  3H021CA04 ,  3H021CA07 ,  3H021DA04 ,  3H021DA21 ,  3H021DA26 ,  3H021EA12 ,  3H021EA20 ,  3H031DA01 ,  3H031DA02 ,  3H031DA07 ,  3H031EA06 ,  3H031EA09 ,  3H031EA12 ,  3H031EA13 ,  3H031EA15 ,  3H031EA16 ,  3H031FA13 ,  3H031FA40 ,  3H031FA41