特許
J-GLOBAL ID：200903043577039751
基板収納容器供給装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-243619
公開番号（公開出願番号）：特開平11-087460
出願日： 1997年09月09日
公開日（公表日）： 1999年03月30日
要約：
【要約】【課題】 大きさの異なる基板収納容器を取り扱うことが可能な基板収納容器供給装置を提供する。【解決手段】 一体型カセット90を支持する移動機構部の移動経路中に一体型カセット90の大きさを検出するサイズ検出用センサを設ける。移動機構部から受け取った一体型カセット90を回転機構部に保持し、扉開閉機構部70に扉92を正対させる。サイズ検出用センサ22からの出力に応じて昇降機構部が回転機構部を昇降移動させ、一体型カセット90の扉92のキー孔93に扉開閉機構部70のラッチキー121が挿入しうるように鉛直方向の位置調整を行う。
請求項（抜粋）：
開口部を有する容器本体と前記開口部に対して取り外し自在であって取り外し操作のための被操作部を有する扉とを備えた基板収納容器を基板の処理を行う基板処理部へ基板を供給するための所定の位置へ供給する基板収納容器供給装置であって、前記基板収納容器を支持する支持部と、前記被操作部を操作する操作部材を有し、前記支持部に支持された前記基板収納容器の前記扉を前記容器本体から取り外す取り外し手段と、前記取り外し手段の操作部材が前記支持部に支持された前記基板収納容器の前記扉の被操作部に対応する位置になるように、前記支持部と前記取り外し手段とを相対的に移動させる移動手段とを備えたことを特徴とする基板収納容器供給装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, B65G 49/07 L
