特許
J-GLOBAL ID：200903043580435307
物体面の相対関係の検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-329144
公開番号（公開出願番号）：特開平6-174413
出願日： 1992年12月09日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：
【要約】【構成】光学的に物体の相対変位或いは相対速度を検出する光学干渉計21と、複数本の光線を物体面の微小領域に集光し、かつ微動調整装置を備えた光学レンズを光学レンズ光軸が物体面に対して垂直になるように配置し、光線群13の焦点が光学レンズの焦点と一致するように構成された微小領域集光装置12と、集光された複数の光線の光線スポット位置を検出する装置から成っている。【効果】光学的に非接触で複数点の物体面間の相対変位或いは相対速度を検出する光学干渉計によって物体面の相対変位、或いは、相対速度を検出できる。また物体面の所望の位置に光線を照射可能である。
請求項（抜粋）：
光学的に物体の相対変位或いは相対速度を検出する光学干渉計部と、前記光学干渉計部から出射される複数本の光線を所望の物体表面に導く光線誘導光学系部と、前記光学干渉計部から出力される物体の相対変位或いは相対速度を示す電気信号を処理する信号処理部とを有する光学干渉計を用いた複数点の物体面の相対変位或いは相対速度を検出する装置において、前記光学干渉計部から出射された複数本の光線を複数点の物体面の微小領域に同時に集光させ、複数点の物体面からの反射光を入射光と同経路を通り、前記光学干渉計部に受光させるように構成した微小領域集光装置を備えたことを特徴とする物体面の相対関係の検出装置。
IPC (2件)：
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