特許
J-GLOBAL ID：200903043580859948
ガス分析方法および装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-310411
公開番号（公開出願番号）：特開平5-142202
出願日： 1991年11月26日
公開日（公表日）： 1993年06月08日
要約：
【要約】【目的】モノシランガスに含まれる微量の気相水分を分析する方法および装置を提供する。【構成】モノシランガスを導入するガス配管と、気相水分を一定濃度含有するガスを導入する配管を結合し、上記2種のガスを混合して分析器15に導入する構成。モノシランのガス1の導入配管には、吸着剤6などの水分除去手段を設置した部分と、その水分除去手段を通過しないバイパス配管7を有する。検量線を測定する際には、水分除去手段を通してモノシランガス1を供給する。検量線の基準は、大気圧イオン化質量分析計を分析器15に用いた場合には、モノシラン水のクラスタイオン(質量数と電荷の比が49等)を用いる。【効果】大気圧イオン化質量分析計を用いた場合、迅速かつ高感度に気相水分の濃度分析が可能。
請求項（抜粋）：
イオンを発生するイオン源と、該イオンを質量によって分離し、個々に強度を測定する質量分析計と、モノシランガスと該モノシランガスの供給手段とからなる装置において、モノシランガス中に含まれる微量の気相水分を、質量分析計で観測される水とモノシランのクラスタイオンの強度から定量することを特徴とする、ガス分析装置。
IPC (2件)：
前のページに戻る
