特許
J-GLOBAL ID：200903043581197086
ウエハの異物検査光学系
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-132520
公開番号（公開出願番号）：特開平7-318505
出願日： 1994年05月23日
公開日（公表日）： 1995年12月08日
要約：
【要約】【目的】 異物検査装置の回転ミラーによる走査方法において、走査幅YL 内を移動するスポットSP と、スリット板のスリットSL とを簡易な手段によりつねに対応させる。【構成】 投光系61と受光系62に共通使用する回転ミラー612 を設け、回転ミラー612 と受光器625 の間に、集光レンズ621 により集光され、回転ミラー612 により反射された、異物によるスポットSP の散乱光LR が透過するスリットSLを有し、走査幅YL とその周辺よりの迷光を遮断するスリット板624 とを設けて構成される。
請求項（抜粋）：
光源よりのレーザビームを、回転ミラーにより角度掃引して集束レンズによりスポットに集束し、XY移動ステージに載置されたウエハの表面に対して、該スポットをY方向の走査幅YL の範囲に投射してX方向を順次に走査し、該ウエハをY方向に該走査幅YL づつ移動してその全面を走査する投光系、および、該スポットの散乱光を集光する集光レンズと、該集光された散乱光を受光する受光器よりなる受光系とを具備する異物検査装置において、前記投光系と受光系に共通使用する回転ミラーを設け、該回転ミラーと前記受光系の受光器との間に、前記集光レンズにより集光され、該回転ミラーにより反射された前記スポットの散乱光を透過し、前記走査幅YL とその周辺よりの迷光を遮断するスリット板とを設けて構成されたことを特徴とする、ウエハの異物検査光学系。
IPC (2件)：
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