特許
J-GLOBAL ID：200903043586527971
エンコーダ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
渡辺 隆男
, 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-300211
公開番号（公開出願番号）：特開2008-116342
出願日： 2006年11月06日
公開日（公表日）： 2008年05月22日
要約：
【課題】エンコーダの小型化及び低コスト化を図る。【解決手段】第1インデックススケール20で生成された+1次回折光及び-1次回折光を、相互に逆位相の変調信号V(t)、及び変調信号V’(t)に基づいて、それぞれの光路上に配置された電気光学素子16A,16Bによって周期的に偏向する。そして、受光素子26へ干渉光が入射することによって得られる光電変換信号I(t)に基づいて移動体の位置情報を検出する。これにより、+1次回折光と-1次回折光とを、機械的に変調するスキャン機構を用いることなく変調することが可能となるため、装置の小型化を図ることが可能となる。また、電気光学素子16A,16Bそれぞれは単体で回折光を偏向することが可能であるため、スキャン機構の構造を単純化することができ、装置の低コスト化を図ることが可能となる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
変調信号に基づいて変調された照明光の干渉を利用して、移動体の位置情報を検出するエンコーダであって、
前記照明光を回折して、第1回折光と第2回折光を生成する回折部材と;
前記移動体に固定され、前記移動体の移動方向に配列されたパターンを有するスケールと;
前記第1回折光の光路上に配置され、前記第1回折光を前記変調信号に基づいて、前記パターンの配列方向へ周期的に偏向する第1電気光学素子と;
前記変調信号の位相をシフトする位相シフト回路と;
前記第2回折光の光路上に配置され、前記第2回折光を、前記位相シフト回路により位相がシフトされた前記変調信号に基づいて、前記パターンの配列方向へ周期的に偏向する第2電気光学素子と;を備えるエンコーダ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (14件)：
2F103BA43
, 2F103CA04
, 2F103CA08
, 2F103DA12
, 2F103EA05
, 2F103EA15
, 2F103EA17
, 2F103EB02
, 2F103EB11
, 2F103EB19
, 2F103EC03
, 2F103EC13
, 2F103EC14
, 2F103EC15
