特許
J-GLOBAL ID：200903043589765814
静電気アクチュエータ及びその制御方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
青木 朗 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-121371
公開番号（公開出願番号）：特開平6-022562
出願日： 1991年05月27日
公開日（公表日）： 1994年01月28日
要約：
【要約】【目的】 静電気アクチュエータの特質を損なう事なく、位置及び電荷の分布状態を観測するセンシング手段を包含し、且つ効率よく高速に駆動する事が可能な静電アクチュエータを得るものである。【構成】 複数の帯状の駆動電極2を有する第1の部材5と、第1部材と接触する第2の部材6と、該駆動電極への印加電圧の切り替えにより該第1と第2の部材の少くとも一方を移動せしめる制御手段9を具備し、該第1部材5の駆動用電極2に対して独立して、所定の位相位置に配置された検出用電極4と、該第2の部材6の電荷分布によって該検出電極4に誘導される電気信号を検知して該第2部材の位置とその上に誘導されている電荷の状態とを検知する手段とを具備する静電気アクチュエータ。
請求項（抜粋）：
互いに絶縁され、所定の方向で且つ所定の間隔を設けて配置された複数の帯状の駆動電極を有する第1の部材と、該第1の部材の表面と接触する第2の部材と、該駆動電極への印加電圧の切り替えにより該第1と第2の部材との間の接触力を静電気の反発力で一旦軽減し、静電気力によって該第1と第2の部材の少くとも一方を移動せしめる制御手段を具備する静電気アクチュエータに於いて、該第1部材の駆動用電極に対して独立して、所定の位相位置に配置された単数乃至複数の検出用電極と、該第2の部材の電荷分布によって該検出電極に誘導される電気信号を検知して該静電気アクチュエータの該第2部材の位置とその上に誘導されている電荷の状態とを検知する手段を具備する静電気アクチュエータ。
引用特許：
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