特許
J-GLOBAL ID：200903043590024712
走査形電子顕微鏡における自動軸調整装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-107053
公開番号（公開出願番号）：特開平10-302689
出願日： 1997年04月24日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：
【要約】【課題】自動で計算機が像観察で一番煩わしい最適なガンアライメントコイル電流と最適な対物可動絞り位置を算出することで、最適な装置環境を提供する。【解決手段】電子銃と、前記電子銃から発生する電子線がレンズ系の中心を通過するように補正するガンアライメントコイルと、前記電子線を細く絞る収束レンズと、前記収束レンズで収束された電子線をさらに細く絞る対物レンズ可動絞りと、収束レンズで収束された電子線を試料上で走査させる偏向コイルと、前記電子線を試料に正しく走査させる対物レンズコイルと、走査に伴い試料から出力される情報信号を検出する検出器と、さらに情報信号をCRTに表示する表示回路を備えた走査形電子顕微鏡で、自動でガンアライメントコイルの最適状態と、電子線の対物可動絞りの通過状態を調整する自動軸調整機能を備えた。
請求項（抜粋）：
電子銃と、前記電子銃から発生する電子線がレンズ系の中心を通過するように補正するガンアライメントコイルと、前記電子線を細く絞る収束レンズと、前記収束レンズで収束された電子線をさらに細く絞る対物レンズ可動絞りと、収束レンズで収束された電子線を試料上で走査させる偏向コイルと、前記電子線を試料に正しく走査させる対物レンズコイルと、走査に伴い試料から出力される情報信号を検出する検出器と、さらに情報信号をCRTに表示する表示回路を備えた走査形電子顕微鏡において、自動でガンアライメントコイルの最適状態と、電子線の対物可動絞りの通過状態を調整する自動軸調整機能を備えたことを特徴とする走査形電子顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 37/04 B
, H01J 37/28 B
