特許
J-GLOBAL ID：200903043594613950
基板処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
稲岡 耕作 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-199261
公開番号（公開出願番号）：特開平10-050645
出願日： 1996年07月29日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：
【要約】【課題】ウエハが挾持爪から離脱することを防止し、ウエハが損傷することのない基板処理装置を提供する。【解決手段】ウエハWの下面の中心にウエハWの下方から垂直に処理液を噴射させてウエハWに処理を施す装置において、ウエハWを挾持する挾持爪24には、ウエハWの端部を置くセット面82a 、セット面82a に対してほぼ垂直上方に立ち上がったチャック面83a および再位置決め面83b が形成されている。チャック面83a の上部には突起部86が突設されている。ウエハWをチャックさせるとき、チャック面83a をウエハWに当接させる。ウエハWのチャックを解除するときには、挾持爪21を回動させて再位置決め面83b をウエハWに対向させる。処理はウエハWをチャックした状態で行われる。ウエハWが薬液の勢いによって浮上する場合があるが、その浮上は突起部86で規制される。
請求項（抜粋）：
回転可能に設けられた回転板と、この回転板の上面側に基板を挾持するためのもので、基板を挾持するための基板挾持位置と、基板の挾持を解除する基板解放位置との間で変位可能な基板挾持部材と、この基板挾持部材の所定位置に突設され、この基板挾持部材が前記基板挾持位置に位置している状態で前記基板挾持部材によって挾持されている基板の縁部の上方に位置し、基板の上方への変位を規制する基板浮き上がり防止突起部と、前記基板挾持部材を前記基板挾持位置と基板解放位置との間で変位させる挾持部材駆動手段と、前記基板挾持部材によって挾持される基板の下面に向けて処理液を吐出するノズルとを含むことを特徴とする基板処理装置。
IPC (6件)：
H01L 21/304 341
, B05C 1/02
, B05C 11/08
, G03F 7/30 502
, H01L 21/027
, H01L 21/68
H01L 21/304 341 C
, B05C 1/02
, B05C 11/08
, G03F 7/30 502
, H01L 21/68 N
, H01L 21/30 569 C
