特許

J-GLOBAL ID：200903043596221323

ガラス基板への微細孔の形成方法

発明者： 青木 剛 ,  東儀 俊秀
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-070014
公開番号（公開出願番号）：特開2003-266311
出願日： 2002年03月14日
公開日（公表日）： 2003年09月24日
要約：

【要約】【課題】DNAのスポット用孔を有するスライドガラスにスポット用孔を形成する際に、アスペクト比の高い微細孔であっても、形状及び精度が良好、且つ、特に底部に細かい粗面を有する、すなわち、DNAのスポットの蛍光強度を精度よく検出することのできる、スポット用孔を廉価に形成するガラス基板への微細孔の形成方法を提供すること。【解決手段】ガラス上に、耐磨耗性レジストパターン40を形成し、サンドブラストによって、耐磨耗性レジストパターンの開口部から露出したガラス基板表面に微細孔42を形成し、湿式エッチングによって、微細孔の壁部及び底部の荒い粗面43、44を細かい粗面46、47に形成すること。

請求項（抜粋）：

ガラス基板へ微細孔を形成する方法において、1)ガラス基板表面上に、微細孔となる部位を開口部とする耐磨耗性レジストパターンを形成し、2)サンドブラストによって、該耐磨耗性レジストパターンの開口部から露出したガラス基板表面に微細孔を形成し、3)湿式エッチングによって、該微細孔の壁部及び底部の荒い粗面を細かい粗面に形成し、微細孔がアスペクト比の高い微細孔であって、微細孔の壁部及び底部が、DNAのスポットの蛍光強度を精度よく検出することのできる細かい粗面であることを特徴とするガラス基板への微細孔の形成方法。

IPC (3件)：

B24C 1/04 ,  C12M 1/00 ,  C12N 15/09

FI (3件)：

B24C 1/04 B ,  C12M 1/00 A ,  C12N 15/00 F

Fターム (14件)：

4B024AA11 ,  4B024AA19 ,  4B024CA01 ,  4B024CA09 ,  4B024CA11 ,  4B024HA14 ,  4B029AA07 ,  4B029AA23 ,  4B029BB20 ,  4B029CC02 ,  4B029CC03 ,  4B029CC08 ,  4B029FA12 ,  4B029FA15