特許
J-GLOBAL ID：200903043598592329

光検出または光照射用のプローブ及びその製造方法

発明者：
島田 康弘

島田 康弘 について

, 
黒田 亮

黒田 亮 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 長尾 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-036347
公開番号（公開出願番号）：特開2000-235038
出願日： 1999年02月15日
公開日（公表日）： 2000年08月29日
要約：
【要約】【課題】本発明は、作製プロセスが容易で形状再現性が良く、安価に製造できると共に、マルチ化に有利であり、集光レンズとSILとの光学的なアライメントが不要で、装置の小型化が可能な光検出または光照射用のプローブ及びその製造方法を提供することを目的としている。【解決手段】本発明のプローブは、支持体に支持された片持ち梁の自由端部に、固浸レンズが形成されてなることを特徴とするものであり、また、本発明の光検出または光照射用のプローブの製造方法は、(a)逆半球状の凹部を有する第1の金型を製造する工程と、(b)逆突起状の凹部を有する第2の金型を製造する工程と、(c)前記第1の金型と前記第2の金型との間に、光透過性の樹脂材料を充填して硬化させ、前記第1の金型及び前記第2の金型から前記樹脂材料を剥離することにより、片持ち梁上に半球状レンズと突起部を有するプローブを形成する工程と、を少なくとも有することを特徴とするものである。
請求項（抜粋）：
支持体に支持された片持ち梁の自由端部に、固浸レンズが形成されてなることを特徴とする光検出または光照射用のプローブ。
IPC (6件)：
G01N 37/00 ,  G11B 7/12 ,  G11B 7/135 ,  G11B 11/10 551 ,  G11B 11/10 566 ,  G01B 11/30
FI (7件)：
G01N 37/00 E ,  G01N 37/00 Y ,  G11B 7/12 ,  G11B 7/135 Z ,  G11B 11/10 551 A ,  G11B 11/10 566 B ,  G01B 11/30 Z
Fターム (44件)：
2F065AA06 ,  2F065AA49 ,  2F065BB01 ,  2F065DD02 ,  2F065FF00 ,  2F065FF09 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065HH12 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ22 ,  2F065LL00 ,  2F065LL10 ,  2F065LL11 ,  2F065NN20 ,  2F065PP01 ,  2F065PP12 ,  2F065PP24 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13 ,  5D075CC04 ,  5D075CC12 ,  5D075CD01 ,  5D075CD17 ,  5D075CF03 ,  5D075CF08 ,  5D075EE03 ,  5D119AA01 ,  5D119AA11 ,  5D119AA22 ,  5D119AA38 ,  5D119BA01 ,  5D119CA06 ,  5D119CA10 ,  5D119JA44 ,  5D119JB03 ,  5D119JC03 ,  5D119JC05 ,  5D119JC06 ,  5D119NA05
引用特許：
審査官引用 (2件)
引用文献：
審査官引用 (1件)

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