特許
J-GLOBAL ID：200903043600665126
ウエブの連続表面処理方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大谷 保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-237011
公開番号（公開出願番号）：特開平6-080807
出願日： 1992年09月04日
公開日（公表日）： 1994年03月22日
要約：
【要約】【目的】 被処理物の幅方向はもとより、長さ方向にも均一で、局部的な処理効果の薄い部分のない、大面積処理が可能なグロー放電プラズマによるウエブの表面処理方法を提供すること。【構成】 グロー放電プラズマを用いてウエブの表面処理を行うにあたり、放電電界に直交する方向に磁界を印加して、プラズマ領域の少なくとも一部を電極間の外部に導出させ、かつ電極長手方向端縁と平行に、被処理用ウエブを連続的に移動させることにより、ウエブの表面処理を行う。
請求項（抜粋）：
グロー放電プラズマを用いてウエブの表面処理を行うにあたり、放電電界に直交する方向に磁界を印加して、プラズマ領域の少なくとも一部を電極間の外部に導出させ、かつ電極長手方向端縁と平行に、被処理用ウエブを連続的に移動させて処理することを特徴とするウエブの表面処理方法。
IPC (2件)：
C08J 7/00 306
, B01J 19/08
