特許

J-GLOBAL ID：200903043608724180

熱分解によってコーティングを形成する装置および方法

発明者： ロベール・テルノ ,  セコンド・フランセシュ
出願人/特許権者： グラヴルベル
代理人 (1件)： 安達 光雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-352265
公開番号（公開出願番号）：特開平7-002548
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年01月06日
要約：

【要約】【目的】 移動する熱ガラス基板の一表面をガス状処理剤と接触させることにより熱分解によって該表面上に金属または金属化合物のコーティングを形成する装置を提供する。【構成】 本発明の装置は基板(16)をコーティング室(14)を通じて運ぶ支持手段(20)を備えている。コーティング室に直接開口しかつ基板の経路を横切って延びる溝穴の形態の少なくとも一つの処理剤ガスの入口(12)がコーティング室に処理剤ガスを供給し散布するために設けられている。少なくとも一つの排ガス出口(18)がコーティング室から排ガスを排出するために設けられている。本発明は、コーティング室の屋根(38)に隣接してコーティング室内に配置された移動式遮へい手段を設けて、コーティング室の屋根上に堆積物が生成するのを減少させることを特徴とするものである

請求項（抜粋）：

コーティング室(14,214)を通って基板(16,216)を運ぶ支持手段(20,220)、コーティング室に処理剤ガスを供給し散布するためのコーティング室に直接開口し基板の経路を横切って延びる溝穴(12,212)の形態の少なくとも1個の処理剤ガスの入口、およびコーティング室から排ガスを排出するための少なくとも1個の排ガス出口(18,218)からなる、移動する熱ガラス基板の一表面をガス状処理剤に接触させることにより熱分解によって前記一表面上に金属または金属化合物のコーティングを形成する装置であって;コーティング室の屋根(38,238)に隣接してコーティング室内に配置されてコーティング室の屋根上に堆積が生成するのを減少させる移動式遮へい手段(40,240)を備えていることを特徴とする装置。

IPC (2件)：

C03C 17/09 ,  C03C 17/245

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平1-283376
  
• 特開昭64-079040
  
• 特開昭61-210633
  
• 特開昭63-246814