形状を除く表面のパラメータを正確に測定し、または形状に関連した仕事を行うための方法および相互作用装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：浅村皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-298454
公開番号（公開出願番号）：特開平6-213910
出願日： 1993年11月29日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：

【要約】【目的】表面の形状による影響を受けることなく、形状を除く表面パラメータの測定または所定の仕事を行うこと。【構成】表面の形状を除くパラメータを示す表面の測定値を発生するか、または表面に仕事を行うようプローブを表面上に走査するための装置および方法である。この走査は2つの段階から成る。まず、第1の走査では、形状情報を得て、この情報を記憶し、第2回の走査では記憶した形状情報を使用してプローブの高さを制御しながら形状を除く表面のパラメータを測定するか、仕事を行う。

請求項（抜粋）：

サンプル表面に対して位置決めされたプローブを含み、XY平面においてプローブとサンプル表面との相対的移動を行い、表面に対して垂直なZ方向にプローブを制御し、検出し、表面の形状に応答してデータを発生する走査プローブ形顕微鏡において、形状を除く表面のパラメータを正確に測定するか、または形状に関連した仕事を行うための方法であって、プローブによりXY平面においてサンプル表面の第1回の走査を行い、表面に対し垂直なZ方向にプローブを制御し、検出し、表面の形状を示すデータをプローブから発生し、表面の形状を示すデータを記憶し、記憶データに従ってX、YおよびZ方向にプローブを制御するよう、記憶データに応答してサンプル表面をプローブによる少なくとも第2回の走査を行い、少なくとも第2回の走査の間に形状を除く表面のパラメータを測定するか、形状に関連した仕事を行う諸工程を備えた方法。

IPC (2件)：

G01N 37/00 , H01J 37/28

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平4-305896
特開平1-312753
特開平3-104040

全件表示

前のページに戻る