特許

J-GLOBAL ID：200903043621909106

スパッタリング装置のマグネトロンカソード電極

発明者： 小林 司 ,  内山 智雄
出願人/特許権者： アネルバ株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 利之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-275229
公開番号（公開出願番号）：特開平10-102246
出願日： 1996年09月27日
公開日（公表日）： 1998年04月21日
要約：

【要約】【課題】 複数の細長い磁石ユニットを備える磁石組立体をターゲットに対して往復運動可能にして、かつ、磁石ユニットの内側磁石と外側磁石の間の軟磁性体をターゲット表面に垂直な方向に移動可能にすることで、ターゲット表面上のプラズマ密度を均一にして、大型の矩形基板上の膜厚分布の均一性を良好にする。【解決手段】 磁石組立体に含まれる5個の磁石ユニット52のそれぞれは、内側磁石54と外側磁石56とヨーク58とで構成されていて、磁石ベース60上に固定されている。磁石ベース60は左右方向に往復運動できる。内側磁石54と外側磁石56の間には、磁界強度調節用の軟磁性体製のシャントバー78が配置されている。一つの磁石ユニット52には4個のシャントバー78があり、これらのシャントバー78は合計6個のサーボモータ80によって独立して上下方向に移動可能である。

請求項（抜粋）：

ターゲットの裏側に配置された磁石組立体と、この磁石組立体をターゲットに対して往復運動させる運動機構とを備える、スパッタリング装置のマグネトロンカソード電極において、次の(イ)〜(ヘ)の特徴を備えるマグネトロンカソード電極。(イ)前記磁石組立体は、細長い矩形の形状をした複数の磁石ユニットを含む。(ロ)前記複数の磁石ユニットは、その長辺が互いに隣り合うように互いに平行に配置されている。(ハ)各磁石ユニットは、ターゲットに対向する表面側に磁極を有する細長い内側磁石と、ターゲットに対向する表面側に磁極を有していて前記内側磁石を取り囲む外側磁石とを含み、前記内側磁石の磁極と前記外側磁石の磁極は互いに逆極性になっている。(ニ)前記磁石組立体は、前記磁石ユニットの長辺方向に垂直な方向に往復運動できる。(ホ)前記複数の磁石ユニットのうち、少なくとも、前記往復運動の方向の両端側に配置される二つの磁石ユニットにおいて、前記内側磁石と前記外側磁石の間に、磁場調節用の軟磁性体が配置されている。(ヘ)前記軟磁性体は、ターゲット表面に垂直な方向に移動できる。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• スパッタリング装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-220818   出願人：日電アネルバ株式会社
• 特開昭62-047476