特許

J-GLOBAL ID：200903043624775259

紫外線照射装置

発明者： 速水 直哉 ,  桜井 直明 ,  原 暁 ,  宮迫 久顕 ,  広瀬 治道 ,  磯 明典
出願人/特許権者： 株式会社東芝 ,  株式会社芝浦製作所
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-316312
公開番号（公開出願番号）：特開平10-156177
出願日： 1996年11月27日
公開日（公表日）： 1998年06月16日
要約：

【要約】【課題】 ケーシング内部を小流量の不活性ガスで充満可能な紫外線照射装置を提供すること。【解決手段】 紫外線照射装置1において、搬入口4および搬出口5、照射窓7が形成された筐体2と、搬入口4から搬出口5へ基板3を搬送する基板搬送手段と、照射窓7の上方を覆うケーシング19と、ケーシング19内部に設けられた紫外線照射手段と、ケーシング19内部に不活性ガスを導入する導入配管21と、ケーシング19内部から不活性ガスを排出する排出配管22と、導入される不活性ガスを分散させる導入側整風手段とを具備したことを特徴としている。上記構成によると、導入側整風手段が設けられているため、不活性ガスを比較的均一に分散導入できる。よって短時間で充満可能となる。さらに酸素が侵入しても良好に排出可能であり、照射窓や紫外線照射手段の白濁を防止できる。

請求項（抜粋）：

基板表面に紫外線を照射する紫外線照射装置において、基板搬入口および搬出口が形成されているとともに紫外線を基板の表面に照射させる紫外線透過部材よりなる照射窓が形成された筐体と、上記筐体内部に設けられ、上記搬入口から搬出口へ基板を搬送する基板搬送手段と、上記照射窓の上方を覆うように設けられたケーシングと、上記ケーシング内部に設けられた紫外線照射手段と、上記ケーシングの一端側に連通され、上記ケーシング内部に不活性ガスを導入する導入配管と、上記ケーシングの他端側に連通され、上記ケーシング内部から不活性ガスを排出する排出配管と、上記ケーシング内部に設けられ、上記導入配管によりケーシング内部に導入される不活性ガスを分散させる導入側整風手段と、を具備したことを特徴とする紫外線照射装置。

IPC (2件)：

B01J 19/12 ,  H01L 21/304 341

FI (2件)：

B01J 19/12 F ,  H01L 21/304 341 D