特許
J-GLOBAL ID：200903043638284134
ウエハー熱水抽出治具
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梅田 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-039773
公開番号（公開出願番号）：特開平6-249770
出願日： 1993年03月01日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：
【要約】【構成】 第1リング3の上にパックタイプ容器2を載せ、分析用ウエハー1をパックタイプ容器2中に入れ、第1リング3中央に位置する様に置く。次に、第2リング5内側に第1リング3を嵌入し、開口部4,5をパックタイプ容器2の口に揃える。次に、パックタイプ容器2内に抽出液8を注入し、第3リング7の内側に第1及び第2リング3,5を嵌入、熱水抽出を行う。【効果】 迅速、簡単、且つ正確に、湯浴またはオーブンのどちらを用いても、熱水抽出を行うことができる。
請求項（抜粋）：
半導体ウエハーを収納するパックタイプ容器と、一部が開口している、所定の内径を有する第1リング及び第2リングと、開口部を有しない、所定の内径を有する第3リングとから成ることを特徴とするウエハー熱水抽出治具。
IPC (3件)：
G01N 1/28
, B01D 11/02 101
, G01N 1/02
