特許
J-GLOBAL ID:200903043639165309

ノズル形成部材の製造方法及び液滴吐出ヘッド

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 稲元 富保
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-045587
公開番号(公開出願番号):特開2001-232799
出願日: 2000年02月23日
公開日(公表日): 2001年08月28日
要約:
【要約】【課題】 インク滴吐出特性の良いヘッドを低コストで歩留まり良く製造できない。【解決手段】 ノズル孔形成部材61のノズル孔62内部及びノズル孔62直上並びに裏面側全面をアルカリ剥離タイプのネガ型DFR65でマスキングした後、フッ素系樹脂微粒子を分散させた共析メッキで撥水性皮膜66を成膜し、次いでネガ型DFR65を除去する。
請求項(抜粋):
液滴を吐出するノズルを形成したノズル孔形成部材表面に撥水性皮膜を形成したノズル形成部材において、前記ノズル孔形成部材のノズル孔内部及びノズル孔の表面側直上並びに裏面側にアルカリ剥離型のネガ型ドライフィルムレジストによるマスキングを施した後、前記ノズル孔形成部材の表面に撥水性皮膜を形成し、次いで、前記ネガ型ドライフィルムレジストを除去することを特徴とするノズル形成部材の製造方法。
Fターム (9件):
2C057AF93 ,  2C057AG07 ,  2C057AG12 ,  2C057AG54 ,  2C057AP02 ,  2C057AP13 ,  2C057AP31 ,  2C057AP60 ,  2C057BA03

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