特許

J-GLOBAL ID：200903043650340422

スピン洗浄装置およびウエハの洗浄方法

発明者： 吉田 元夫 ,  小此木 弘孝
出願人/特許権者： 株式会社岡本工作機械製作所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-045238
公開番号（公開出願番号）：特開2000-208461
出願日： 1999年01月18日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：

【要約】【課題】 異物粒子の除去が有効に行え、かつ洗浄時間を短縮できる裏研削ウエハのスピン洗浄装置の提供。【解決手段】 スピン洗浄装置1の多孔質セラミック製ウエハ載置板3の下部側に、円環状の洗浄ブラシ8,8,8、およびこれらを水平方向に回転させる回転駆動機構9、およびウエハ裏面に洗浄液を噴射する噴射ノズル10,10,10および空気供給ノズル11を設けた洗浄装置。

請求項（抜粋）：

鉛直方向に起立して設けられた中空軸2の上端に軸承された多孔質セラミック製ウエハ載置板3、該中空軸の昇降機構4および回転機構5、中空軸2に流体を導入および排出する口6、前記中空軸2の軸心の同一円周8a上に、かつ、該中空軸2と平行に設けられた複数の軸7,7,7の上端に設けられた円環状の洗浄ブラシ8,8,8、これら軸7,7,7を水平方向に回転させる回転駆動機構9、中空軸2の軸心の同一円周10a上であって、前記円周8aより内側に存在する円周上に複数設けられた洗浄液噴射ノズル10,10,10および空気供給ノズル11、中空軸2の軸心の同一円周12a上であって、前記円周10aより外側に存在する円周上に複数設けられたウエハ位置決めピン12,12,12,12...、および多孔質セラミック製ウエハ載置板3上に載せられたウエハの表面に洗浄液を供給する洗浄液供給ノズル13、および空気を吹き付ける空気供給ノズル14が中空軸2に対し前記ピン12,12より遠い位置に設けられてなる、スピン洗浄装置1。

IPC (3件)：

H01L 21/304 644 ,  H01L 21/304 643 ,  H01L 21/304 651

FI (3件)：

H01L 21/304 644 C ,  H01L 21/304 643 A ,  H01L 21/304 651 L