特許

J-GLOBAL ID：200903043657617730

インライン型の液体中の微粒子のカウント方法及び液体中の微粒子のカウント装置

発明者： 佐藤 三代
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-048052
公開番号（公開出願番号）：特開平10-240897
出願日： 1997年03月03日
公開日（公表日）： 1998年09月11日
要約：

【要約】【課題】 必要とする情報を適正に、かつ、容易に得ることができ、しかも費用や装置改造などの負担が小さい、有利なインライン型の液体中の微粒子のカウント方法及び液体中の微粒子のカウント装置を提供する。【解決手段】 半導体装置製造の際に用いる場合の塗布液等の液体について、該液体を吐出する吐出口31に配管23を介して、液体中の微粒子をカウントする微粒子カウンター22(35〜37)と、流量・流速センサー34と、微粒子カウンター制御ユニット部39とを接続して、インラインで液体中の微粒子をカウントする構成とした微粒子カウント方法及びカウント装置。

請求項（抜粋）：

半導体装置製造の際に用いる場合の液体について、該液体を吐出する吐出口に配管を介して、液体中の微粒子をカウントする微粒子カウンターと、流量・流速センサーと、微粒子カウンター制御ユニット部とを接続して、インラインで液体中の微粒子をカウントすることを特徴とする液体中の微粒子のカウント方法。

IPC (3件)：

G06M 11/00 ,  G01N 15/14 ,  H01L 21/02

FI (3件)：

G06M 11/00 A ,  G01N 15/14 A ,  H01L 21/02 Z