特許

J-GLOBAL ID：200903043665012677

コンタクトプローブ及びその製造方法

発明者： 阿曽 健 ,  杉山 達雄 ,  岩元 尚文
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-249360
公開番号（公開出願番号）：特開2003-057266
出願日： 2001年08月20日
公開日（公表日）： 2003年02月26日
要約：

【要約】【課題】 コンタクトプローブとその製造方法において、固定時の応力が発生してもピン位置が変化し難く、さらに配線の導体損を低減すること。【解決手段】 複数のパターン配線12がフィルム11の表面上に形成されこれらのパターン配線の各先端部がフィルムの先端部に配されてコンタクトピン12aとされるコンタクトプローブ10であって、前記パターン配線は、少なくとも中間部分が前記コンタクトピンとなる先端部の金属材料より柔軟性の高い金属材料で形成されている。

請求項（抜粋）：

複数のパターン配線がフィルムの表面上に形成されこれらのパターン配線の各先端部がフィルムの先端部に配されてコンタクトピンとされるコンタクトプローブであって、前記パターン配線は、少なくとも中間部分が前記コンタクトピンとなる先端部の金属材料より柔軟性の高い金属材料で形成されていることを特徴とするコンタクトプローブ。

IPC (4件)：

G01R 1/073 ,  G01R 31/26 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

G01R 1/073 F ,  G01R 31/26 J ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/66 B

Fターム (30件)：

2G003AA07 ,  2G003AB01 ,  2G003AG01 ,  2G003AG03 ,  2G003AG12 ,  2G003AG20 ,  2G011AA17 ,  2G011AA21 ,  2G011AB06 ,  2G011AB08 ,  2G011AB09 ,  2G011AC06 ,  2G011AC14 ,  2G011AC32 ,  2G011AE01 ,  2G011AE22 ,  2G011AF02 ,  2H088FA11 ,  2H088FA18 ,  2H088FA30 ,  2H088MA20 ,  4M106AA02 ,  4M106BA01 ,  4M106CA70 ,  4M106DD04 ,  4M106DD06 ,  4M106DD09 ,  4M106DD10 ,  4M106DD13 ,  4M106DD15