特許
J-GLOBAL ID：200903043670628350
蛍光X線分析装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-173546
公開番号（公開出願番号）：特開平8-015187
出願日： 1994年07月02日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：
【要約】【目的】 大気の吸収による影響を可及的に少なくするとともに、試料の交換ごとに真空引きやHeガスの置換などを行う必要がなく、Na、Mg、Alといった軽元素をも確実に検出することができる蛍光X線分析装置を提供すること。【構成】 X線発生機2によって発せられる一次X線aをX線導管4によってX線照射領域まで導き、このX線照射領域に設けられるX線遮蔽壁7に開設された開口部8を通して一次X線aを試料ステージ9上の試料10に照射し、そのとき生ずる蛍光X線bをX線検出器11によって検出するようにした蛍光X線分析装置において、前記開口部8にX線の吸収率が低い樹脂膜18を張設して、X線導管4およびX線検出器11が設けられる第一空間19と試料ステージ9が設けられる第二空間20とに区分し、第一空間19を真空状態にした。
請求項（抜粋）：
X線発生機によって発せられる一次X線をX線導管によってX線照射領域まで導き、このX線照射領域に設けられるX線遮蔽壁に開設された開口部を通して一次X線を試料ステージ上の試料に照射し、そのとき生ずる蛍光X線をX線検出器によって検出するようにした蛍光X線分析装置において、前記開口部にX線の吸収率が低い樹脂膜を張設して、X線導管およびX線検出器が設けられる第一空間と試料ステージが設けられる第二空間とに区分し、さらに、第一空間を真空状態にしたことを特徴とする蛍光X線分析装置。
引用特許：
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