特許

J-GLOBAL ID：200903043671866270

パラジウムまたはパラジウム合金の剥離液

発明者： 安原 義信 ,  岩沢 裕之 ,  初川 拓朗 ,  永倉 雅之 ,  鈴木 裕子
出願人/特許権者： メルテックス株式会社
代理人 (1件)： 米田 潤三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-319815
公開番号（公開出願番号）：特開2000-129470
出願日： 1998年10月22日
公開日（公表日）： 2000年05月09日
要約：

【要約】【課題】 下地層を侵食することなく、パラジウムまたはパラジウム合金を高い剥離速度で剥離でき、毒性の強い鉛化合物を含有しない剥離液を提供する。【解決手段】 パラジウムまたはパラジウム合金を剥離するための剥離液を、ニトロ基を含む芳香族化合物と、シアン化アルカリと、イオウ化合物とを少なくとも含有した剥離液とする。

請求項（抜粋）：

ニトロ基を含む芳香族化合物と、シアン化アルカリと、イオウ化合物とを少なくとも含有することを特徴とするパラジウムまたはパラジウム合金の剥離液。

IPC (2件)：

C23F 1/00 103 ,  C23F 1/44

FI (2件)：

C23F 1/00 103 ,  C23F 1/44

Fターム (7件)：

4K057WA18 ,  4K057WB11 ,  4K057WB15 ,  4K057WE15 ,  4K057WE30 ,  4K057WG03 ,  4K057WN01

引用特許：

審査官引用 (3件)

• パラジウム用化学エッチャント
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-317409   出願人：エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
• 特開昭62-133087
  
• 特開昭62-133087