特許

J-GLOBAL ID：200903043672318056

薄膜積層デバイスの製造方法および液晶表示素子の製造方法

発明者： 近間 義雅 ,  岡部 達
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 奥田 誠司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-268191
公開番号（公開出願番号）：特開2002-072905
出願日： 2000年09月05日
公開日（公表日）： 2002年03月12日
要約：

【要約】【課題】 プラスチック基板を用いて薄膜積層デバイスや液晶表示素子を作製する。【解決手段】 一対の支持基板101のそれぞれの上に樹脂を塗布することによってプラスチック基板103を形成する。一方のプラスチック基板103にアクティブマトリックス素子等を形成し、他方のプラスチック基板103上にカラーフィルタ等を形成した後、これらをプラスチック基板103を内側にして貼り合わせ、支持基板101をエッチングまたは機械的研磨処理によって除去する。

請求項（抜粋）：

プラスチック基板上に形成された回路を有する薄膜積層デバイスの製造方法であって、支持基板上に樹脂材料を塗布することによってプラスチック基板を形成する工程と、プラスチック基板上に回路を形成する工程と、を包含する薄膜積層デバイスの製造方法。

IPC (4件)：

G09F 9/00 342 ,  G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/1368 ,  H01L 29/786

FI (4件)：

G09F 9/00 342 ,  G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 29/78 626 C

Fターム (50件)：

2H090JB02 ,  2H090JB03 ,  2H090LA02 ,  2H090LA15 ,  2H092JA24 ,  2H092JA34 ,  2H092JA41 ,  2H092JB22 ,  2H092JB31 ,  2H092KA04 ,  2H092MA05 ,  2H092MA13 ,  2H092MA18 ,  2H092MA19 ,  2H092PA01 ,  2H092PA03 ,  2H092PA08 ,  5F110AA16 ,  5F110BB01 ,  5F110CC07 ,  5F110DD01 ,  5F110EE04 ,  5F110EE44 ,  5F110FF03 ,  5F110FF29 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG14 ,  5F110GG15 ,  5F110GG24 ,  5F110GG44 ,  5F110HK03 ,  5F110HK04 ,  5F110HK06 ,  5F110HK07 ,  5F110HK09 ,  5F110HK16 ,  5F110HK33 ,  5F110HK34 ,  5F110NN04 ,  5F110NN14 ,  5F110NN16 ,  5F110NN24 ,  5F110NN35 ,  5G435AA17 ,  5G435BB05 ,  5G435BB06 ,  5G435BB12 ,  5G435GG12 ,  5G435KK10