特許

J-GLOBAL ID：200903043675072813

窒化珪素質焼結体

発明者： 山元 泉太郎 ,  田中 広一 ,  織田 武廣
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-320151
公開番号（公開出願番号）：特開平8-175872
出願日： 1994年12月22日
公開日（公表日）： 1996年07月09日
要約：

【要約】【構成】窒化珪素を70モル%以上、周期律表第3a族元素を酸化物換算で1〜10モル%、不純物的酸素をSiO2 換算で1〜20モル%の割合で含むとともに、周期律表第3a族元素の酸化物換算量に対する不純物的酸素のSiO2 換算量のモル比が2未満であり、周期律表第3a族元素としてLuを全周期律表第3a族元素中、20モル%以上、93モル%より小さい割合で含有する混合物を所定の形状に成形した後、この成形体を1600〜1850°Cの窒素雰囲気中で焼成し、窒化珪素結晶粒子の短軸の平均径が5μm以下、平均アスペクト比(長軸径/短軸径)が10以下に制御するとともに、窒化珪素結晶の粒界相がYAMを主とする結晶質からなる窒化珪素質焼結体を得る。【効果】室温から1500°Cまでの幅広い温度範囲で、強度劣化の小さい高強度の焼結体を得ることができる。

請求項（抜粋）：

窒化珪素を70モル%以上、周期律表第3a族元素を酸化物換算で1〜10モル%、不純物的酸素をSiO2 換算で1〜20モル%の割合で含むとともに、前記周期律表第3a族元素の酸化物換算量に対する前記不純物的酸素のSiO2 換算量のモル比が2未満であり、前記周期律表第3a族元素としてLuを全周期律表第3a族元素中、20モル%以上、93モル%より小さい割合で含有する焼結体であって、該焼結体における窒化珪素結晶粒子の短軸方向の平均粒径が5μm以下、平均アスペクト比(長軸径/短軸径)が10以下であり、且つ該窒化珪素結晶の粒界相がYAMを主とする結晶質からなることを特徴とする窒化珪素質焼結体。