特許
J-GLOBAL ID：200903043684421430
画像補正方法
発明者：
,
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
松山 允之
, 河西 祐一
, 池上 徹真
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-085214
公開番号（公開出願番号）：特開2006-266860
出願日： 2005年03月24日
公開日（公表日）： 2006年10月05日
要約：
【課題】 サブ画素単位でのシフト(アライメント)と画像補正を統合化した設定パラメータの少ない画像補正方法を提供する。【解決手段】 検査基準パターン画像と被検査パターン画像との関係を同定して、画像の画素ズレや伸縮・うねりノイズ、センシングノイズを吸収(フィッティング)した数式モデルを構築し、そのモデルのシミュレーションによって推定モデル画像を生成する。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
検査基準パターン画像と被検査パターン画像から推定モデル画像を生成する画像補正方法において、
検査基準パターン画像内の離間した複数箇所に基準点を設け、各基準点を基準に検査基準パターン画像に重みを付与して、基準点の個数分の分解画像を生成する分解画像生成ステップと、
被検査パターン画像の各1画素を出力とし、基準点の個数分の該分解画像について該各1画素の周囲の画素群の線形結合を入力とした2次元線形予測モデルを用いた入出力関係を記述する連立方程式を生成する連立方程式生成ステップと、
該連立方程式を解いて、該予測モデルのパラメータを推定する連立方程式解法ステップと、
該推定されたパラメータを用いて推定モデル画像を生成する推定モデル画像生成ステップと、を備える、画像補正方法。
IPC (3件)：
G01N 21/956
, G01B 11/30
, G06T 1/00
G01N21/956 A
, G01B11/30 A
, G06T1/00 305D
2F065AA49
, 2F065BB02
, 2F065CC17
, 2F065FF42
, 2F065HH13
, 2F065HH15
, 2F065JJ02
, 2F065JJ25
, 2F065LL00
, 2F065LL04
, 2F065MM03
, 2F065PP12
, 2F065QQ18
, 2F065QQ31
, 2F065QQ34
, 2F065QQ39
, 2F065RR08
, 2G051AA56
, 2G051AC21
, 2G051CA04
, 2G051CB01
, 2G051CB02
, 2G051EA08
, 2G051EA12
, 2G051EA23
, 2G051EB09
, 2G051ED11
, 5B057AA03
, 5B057BA02
, 5B057DA03
, 5B057DA07
, 5B057DB02
, 5B057DC05
, 5B057DC33
, 5B057DC36
