特許

J-GLOBAL ID：200903043685824937

配線構造及びそれを用いた表示装置

発明者： 宮川 達也 ,  塩田 純司
出願人/特許権者： カシオ計算機株式会社
代理人 (1件)： 杉村 次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-358424
公開番号（公開出願番号）：特開平10-199827
出願日： 1996年12月28日
公開日（公表日）： 1998年07月31日
要約：

【要約】【課題】 薄膜トランジスタを備えたアクティブマトリックス型の液晶表示装置において、ゲート電極を含む走査ラインをAl-Nd合金によって形成した際に、ピンホール(ボイド)が発生しても別に問題はなく、しかも抵抗率を10μΩcm程度以下とする。【解決手段】 ゲート電極2を含む走査ラインは、ガラス基板1上に形成されたAl-Nd合金からなる第1配線層2aと、この第1配線層2a上に形成されたAl-Ti合金からなる第2配線層2bとによって構成されている。この場合、Al-Nd合金からなる第1配線層2aにピンホールが発生しても、その上に形成されたAl-Ti合金からなる第2配線層2bによって断線を防止することができ、したがってピンホールが発生しても別に問題はなく、しかも抵抗率を10μΩcm程度以下とすることができる。

請求項（抜粋）：

希土類元素の1種または2種以上を含有するAl合金からなる第1配線層とTi、Ta、Mo、Cr等の高融点金属の1種または2種以上を含有するAl合金からなる第2配線層とを含む複数の配線層で構成したことを特徴とする配線構造。

IPC (6件)：

H01L 21/28 301 ,  H01L 21/28 ,  G02F 1/1343 ,  H01L 21/3205 ,  H01L 29/786 ,  H05K 1/02

FI (7件)：

H01L 21/28 301 L ,  H01L 21/28 301 R ,  G02F 1/1343 ,  H05K 1/02 J ,  H01L 21/88 R ,  H01L 29/78 617 L ,  H01L 29/78 617 M