特許
J-GLOBAL ID:200903043692877230

構造パラメータ解析装置及び解析方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 光石 俊郎 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-289779
公開番号(公開出願番号):特開平9-297112
出願日: 1996年10月31日
公開日(公表日): 1997年11月18日
要約:
【要約】【課題】 X線回折法等を用いた結晶構造解析において、高強度ピークの誤差を強調せず軽い元素や微量成分の情報を多く含む低強度ピークの情報を正しく評価し、装置関数情報を実測し実質的な高分解能スペクトルを得て解析する。【解決手段】 試料の測定値y0iと予想される結晶構造パラメータとを用い、測定値y0iに検出器の数え落とし補正を施した値yiとバッククランド強度biと1以下の正数δとからfi=k・log(yi+δ-bi) により測定値の対数変換値を行列要素とするベクトルFを求め、結晶構造パラメータから計算して得た値ベクトルyciからfci=k・log(yci)により計算値の対数変換値を行列要素とするベクトルFcと、装置関数行列・系統的誤差・偶然誤差から得られる重み行列Wを求め、FとFcの差と重み行列を掛けた残差二乗和s(=(F-Fc)t W(F-Fc))が最小化し且つ収束するように計算値ベクトルFcを決定して結晶構造パラメータを求める。
請求項(抜粋):
構造パラメータを予め記憶しておく構造パラメータ設定部と、試料の測定値を入力するデータ入力部と、前記構造パラメータ設定部からの構造パラメータに基づいて測定値に対応する計算値を求める計算値演算手段と、該計算値を対数変換する第1の対数変換手段と、測定値からバックグランド強度を差し引いた値を対数変換する第2の対数変換手段と、前記第1と第2の対数変換手段で得た2つの対数変換値の差を2乗して総和sを求める総和演算手段と、構造パラメータを変化させて前記総和演算手段により求めた複数の総和sのうち最小のものを判定する判定部と、最小の総和sとなる構造パラメータを出力する出力部とを備えた構造パラメータ解析装置。
IPC (5件):
G01N 23/20 ,  G01J 3/44 ,  G01N 21/01 ,  G01N 21/63 ,  G01N 21/65
FI (5件):
G01N 23/20 ,  G01J 3/44 ,  G01N 21/01 Z ,  G01N 21/63 ,  G01N 21/65

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