特許

J-GLOBAL ID：200903043697390142

ダイヤモンド結晶の形成方法

発明者： 平林 敬二
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-262514
公開番号（公開出願番号）：特開平7-118093
出願日： 1993年10月20日
公開日（公表日）： 1995年05月09日
要約：

【要約】【構成】 気相合成法を用いた、ダイヤモンド結晶の形成方法における基体への前処理法であって、少なくとも炭素を含有する化合物のプラズマ中で基体にバイアスを印加してダイヤモンド結晶核を形成するプラズマ処理法において、前記プラズマ中に体積比10%以上、80%以下のキセノンまたはクリプトンより選ばれた1種以上のガスを添加することを特徴とするダイヤモンド結晶の形成方法。【効果】 ダイヤモンド結晶の核発生が増加し、平坦性の良好なダイヤモンド結晶膜が得られる。更に、ダイヤモンド結晶の選択成長も可能となった。これらのダイヤモンド結晶は、特に電子材料、ヒートシンクとしてすぐれたものである。

請求項（抜粋）：

気相合成法を用いた、ダイヤモンド結晶の形成方法における基体への前処理法であって、少なくとも炭素を含有する化合物のプラズマ中で基体にバイアスを印加してダイヤモンド結晶核を形成するプラズマ処理法において、前記プラズマ中に体積比10%以上、80%以下のキセノンまたはクリプトンより選ばれた1種以上のガスを添加することを特徴とするダイヤモンド結晶の形成方法。

IPC (4件)：

C30B 29/04 ,  C23C 16/26 ,  C30B 25/18 ,  H01L 21/205