特許

J-GLOBAL ID：200903043697895341

流体圧アクチュエータ及びその位置決め制御システム

発明者： 三木 正之 ,  松木 裕二
出願人/特許権者： 株式会社エスジー
代理人 (1件)： 飯塚 義仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-134060
公開番号（公開出願番号）：特開平6-074202
出願日： 1993年05月12日
公開日（公表日）： 1994年03月15日
要約：

【要約】【目的】 流体圧アクチュエータの位置決め制御を高速かつ高精度に行えるようにする。【構成】 ロッドはケーシングとの間で第1及び第2の流体室を形成するためのピストンを有する。流体圧制御手段は、ケーシングの他端に設けられたモータと、ケーシング内に設けられ、モータの回転に応じて第1及び第2の流体室と吸込口及び吐出口との間を選択的に接続し、第1又は第2の流体室に作動流体を作用させてロッドを移動させる。状態復帰手段はロッドの移動に応じて第1及び第2の流体室と吸込口及び吐出口との間の接続関係を解除するように流体圧制御手段を制御する。回転位置検出手段はモータの回転位置を検出するので、その回転位置を制御することによって軸方向におけるロッドの移動位置を制御する。直線位置検出手段はロッド上に設けられた磁気目盛りパターンを含み、この磁気目盛りパターンに応じてロッドの軸方向における移動位置を検出する。

請求項（抜粋）：

所定圧力の作動流体を内部に作用させるための吸込口と吐出口とを有するケーシングと、前記ケーシングの一端から外部に突出して前記ケーシング内を移動可能に設けられ、前記ケーシングとの間で第1及び第2の流体室を形成するためのピストンを有するロッドと、前記ケーシングの他端に設けられたモータと、前記ケーシング内に設けられ、前記モータの回転に応じて前記第1及び第2の流体室と前記吸込口及び前記吐出口との間を選択的に接続し、前記第1又は第2の流体室に前記作動流体を作用させて前記ロッドを移動させる流体圧制御手段と、前記ロッドの移動に応じて前記第1及び第2の流体室と前記吸込口及び前記吐出口との間の前記接続関係を解除するように前記流体圧制御手段を制御する状態復帰手段と、前記モータの回転位置を検出する回転位置検出手段と、前記ロッド上に設けられた磁気目盛りパターンを含み、この磁気目盛りパターンに応じて前記ロッドの前記軸方向における移動位置を検出する直線位置検出手段とから構成されることを特徴とする流体圧アクチュエータ。

IPC (5件)：

F15B 9/09 ,  B21D 28/24 ,  B30B 15/18 ,  F15B 15/14 365 ,  F15B 15/28

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-272303
  
• 特開平2-241700
  
• 特公昭46-008910