位置合せ装置および方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-194052
公開番号（公開出願番号）：特開平9-022866
出願日： 1995年07月07日
公開日（公表日）： 1997年01月21日
要約：

【要約】【目的】位置合せの対象となる全体の領域数が少なくても常に高精度なアライメントができるようにする。【構成】各領域にはその領域と一定の位置関係にありかつその領域の複数の位置合せ方向にそれぞれ対応する複数のマークが非対称的に付随した複数の領域420,430が、それらの配列位置を規定する所定の配列位置データに従って形成された基板410上の前記複数領域のうちのいくつかを選択し、選択した各領域を前記配列位置データに従って順次所定位置に位置決めしてその前記マーク460の位置を検出することにより前記配列位置データに対する前記各位置合せ方向の補正位置データを得、そしてこの補正位置データおよび前記配列位置データに基づいて前記複数領域を順次所望の位置に位置合せする際に、各位置合せ方向ごとに別個独立に前記領域を選択(斜線部)して前記補正位置データを得る。

請求項（抜粋）：

各領域にはその領域と一定の位置関係にありかつその領域の複数の位置合せ方向にそれぞれ対応する複数のマークが非対称的に付随した複数の領域が、それらの配列位置を規定する所定の配列位置データに従って形成された基板を駆動する手段と、前記マークの位置を検出する手段と、前記複数領域のうちのいくつかを選択し、選択した各領域を前記駆動手段により前記配列位置データに従って順次所定位置に位置決めしてその前記マークの位置を前記検出手段によって検出することにより前記配列位置データに対する前記各位置合せ方向の補正位置データを得、そしてこの補正位置データおよび前記配列位置データに基づいて前記駆動手段により前記複数領域を順次所望の位置に位置合せする制御手段とを備えた位置合せ装置において、前記制御手段は、前記各位置合せ方向ごとに別個独立に前記領域を選択して前記補正位置データを得るものであることを特徴とする位置合せ装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G05D 3/12 , H01L 21/68

FI (4件)：

H01L 21/30 525 X , G05D 3/12 L , H01L 21/68 F , H01L 21/30 525 W

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