特許

J-GLOBAL ID：200903043702446291

ブレーキングマシーン及びそれを装着したダイシング装置

発明者： 佐藤 信弘 ,  眞下 憲治 ,  徳丸 毅 ,  萩原 重一
出願人/特許権者： 株式会社ディスコエンジニアリングサービス
代理人 (1件)： 秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-307961
公開番号（公開出願番号）：特開平6-140504
出願日： 1992年10月23日
公開日（公表日）： 1994年05月20日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 ブレーキング時に割れカスを殆ど発生させずにチップを綺麗に且つ完全に分割でき、しかもブレーキング作業を効率良く行えるようにした、ブレーキングマシン及びそれを装着したダイシング装置を提供する。【構成】 テープ22を介してフレーム23に保持されたハーフカット済みのウェーハ21を各チップに分割するブレーキングマシーンであって、フレームを所要位置に位置付けて載置するフレームテーブル2と、このフレームテーブルに載置されたフレームを保持するフレームクランプ4と、フレームにテープを介して保持されたウェーハをテープ側から押圧し駆動する押圧手段と、この押圧手段を進退させる進退手段とを少なくとも含む。このように形成されたブレーキングマシーンを、ダイシング装置の所要位置に装着する。

請求項（抜粋）：

テープを介してフレームに保持されたハーフカット済みのウェーハを各チップに分割するブレーキングマシーンであって、フレームを所要位置に位置付けて載置するフレームテーブルと、このフレームテーブルに載置されたフレームを保持するフレームクランプと、フレームにテープを介して保持されたウェーハをテープ側から押圧し駆動する押圧手段と、この押圧手段を進退させる進退手段と、を少なくとも含むブレーキングマシーン。

IPC (2件)：

H01L 21/78 ,  B28D 5/00

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-304950
  
• 特開平3-209744
  
• 特開平2-304950
  
• 特開平3-209744