特許
J-GLOBAL ID：200903043702467957
振動検出素子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-019491
公開番号（公開出願番号）：特開平6-213703
出願日： 1993年01月13日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：
【要約】【目的】 小型かつ低コストであり、しかも振動の大きさをある範囲で連続値で得るようにする。【構成】 すり鉢状の凹部1aを有する下側基板1と、この下側基板1上にすり鉢状凹部1aを覆うように対向配置された上側基板2と、この下側基板1のすり鉢状凹部1a内に収納された金属性球体3と、下側基板1と上側基板2との間に配置された絶縁膜3とから構成され、下側基板1と上側基板2との間にコンデンサ構造が形成されている
請求項（抜粋）：
すり鉢状の凹部を有する第1の導電性基板と、前記第1の導電性基板上に前記凹部を覆うように対向配置された第2の導電性基板と、前記第1の導電性基板の前記凹部内に収納された金属性球体と、前記第1の導電性基板と第2の導電性基板との間に配置された絶縁膜と、を備え、前記第1の導電性基板と第2の導電性基板との間にコンデンサ構造が形成されていることを特徴とした振動検出素子。
IPC (2件)：
前のページに戻る
