特許
J-GLOBAL ID:200903043704755461

アルカリ可溶性樹脂

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 南條 博道
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-193485
公開番号(公開出願番号):特開2004-035685
出願日: 2002年07月02日
公開日(公表日): 2004年02月05日
要約:
【課題】耐熱性、感度、現像性に優れ、残膜率に優れるとともに、耐薬品性、基板との密着性、および可視光領域における透明性に優れるレジスト膜を形成し得る感放射線性樹脂組成物の主成分となるアルカリ可溶性樹脂を提供すること。【解決手段】特定のビスフェノールフルオレン構造を有するエポキシ化合物と脂環式または芳香族単塩基性カルボン酸とから形成されるエポキシエステル化合物に、少なくとも1種の多塩基性カルボン酸またはその無水物を反応させることにより得られる、アルカリ可溶性樹脂。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
下記一般式(1)で表されるエポキシ化合物:
IPC (4件):
C08G59/42 ,  C08G59/24 ,  G03F7/022 ,  G03F7/032
FI (4件):
C08G59/42 ,  C08G59/24 ,  G03F7/022 ,  G03F7/032 501
Fターム (45件):
2H025AA01 ,  2H025AA04 ,  2H025AA06 ,  2H025AA07 ,  2H025AA08 ,  2H025AA10 ,  2H025AA14 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AC07 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BC14 ,  2H025BC74 ,  2H025BC85 ,  2H025BE01 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  4J036AC01 ,  4J036AC02 ,  4J036AC08 ,  4J036AC18 ,  4J036AD04 ,  4J036AD11 ,  4J036AD12 ,  4J036AF06 ,  4J036DA05 ,  4J036DB15 ,  4J036DB18 ,  4J036DB21 ,  4J036DB22 ,  4J036DB25 ,  4J036DC38 ,  4J036DC45 ,  4J036EA04 ,  4J036GA26 ,  4J036HA01 ,  4J036HA02 ,  4J036HA03 ,  4J036JA09 ,  4J036KA01
引用特許:
審査官引用 (7件)
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