特許

J-GLOBAL ID：200903043705638450

表面分析法

発明者： 大槻 荘一 ,  村井 健介 ,  吉川 暹
出願人/特許権者： 独立行政法人産業技術総合研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-266516
公開番号（公開出願番号）：特開2002-071556
出願日： 2000年09月04日
公開日（公表日）： 2002年03月08日
要約：

【要約】【課題】数cm角範囲において約0.1nm〜数100nmの垂直方向の変化を短時間で検出でき、溶液中でも測定可能な手法。【解決手段】表面フ ゚ラス ゙モン共鳴(SPR)が起らない入射角で3以上の波長につき試料からの反射光を2次元光検出器で撮像し反射光画像を測定、各波長の画像全体における輝度平均値を算出、該平均値中最大の平均値を基準として各波長の平均値を規格化し各波長に対するハ ゙ックク ゙ラウント ゙テ ゙ータを得、SPRが起る入射角で前記テ ゙ータを測定した3以上の波長につき試料からの反射光を同光検出器で撮像、測定画像の各画素の輝度を前記テ ゙ータで補正し必要な波長での測定終了時点迄全波長における補正後の各画素の輝度をコンヒ ゚ュータのメモリに保存、画像の各画素における異波長での補正後の輝度を2次多項式で近似し画像の各画素における輝度の最小波長を計算して反射光画像の各画素におけるSPR波長を求める表面分析法。

請求項（抜粋）：

透明な基板に設けた金属薄膜上に作製した試料を分析対象とし、プリズムを通して基板側から試料に光を照射して、その反射光の画像を測定し、試料の性状の微小な変化を反射光強度の変化として検出する2次元表面プラズモン共鳴法を用いた表面分析法において、1)表面プラズモン共鳴(SPR)が起こらない入射角で3以上の波長について試料からの反射光を2次元の光検出器で撮像することにより反射光の画像を測定し、各波長について画像全体における輝度の平均値を算出し、算出した平均値の中で最も大きい輝度の平均値を基準として各波長における平均値を規格化することにより、各波長に対するバックグラウンドデータを得て、2) SPRが起こる入射角で3以上の波長について、試料からの反射光を2次元の光検出器で撮像することにより反射光の画像を測定し、各波長毎に測定した画像の各画素の輝度をバックグラウンドデータで補正し、必要な波長での測定が終了する時点まで全ての波長における補正後の各画素の輝度をコンピューターのメモリに保存し、3) 異なる波長:xにおける各画素の補正後の輝度:yを下記の2次多項式で近似することにより、各画素において輝度が最も小さくなる波長(表面プラズモン共鳴波長)を求めることを特徴とする表面分析法。【式1】

IPC (2件)：

G01N 21/27 ,  G01N 33/543 595

FI (3件)：

G01N 21/27 C ,  G01N 21/27 A ,  G01N 33/543 595

Fターム (22件)：

2G059AA05 ,  2G059BB12 ,  2G059CC16 ,  2G059DD13 ,  2G059EE02 ,  2G059EE05 ,  2G059FF01 ,  2G059GG04 ,  2G059GG10 ,  2G059HH01 ,  2G059HH02 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ05 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ12 ,  2G059JJ19 ,  2G059KK04 ,  2G059MM03 ,  2G059MM05 ,  2G059MM10 ,  2G059MM12 ,  2G059PP04