特許
J-GLOBAL ID：200903043706794170
位置出し装置とXYステージ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-352956
公開番号（公開出願番号）：特開平6-304832
出願日： 1992年12月11日
公開日（公表日）： 1994年11月01日
要約：
【要約】【目的】 XYステージの回転を規制する。【構成】 楕円振動の軌跡が互いに直交する2種類の楕円振動を発する超音波振動子1の振動端に摺動体17を押し付ける。摺動体17は上部を切断した球状とし、その球状側面にローラ装置21のローラ22を押し付けて、摺動体17を回動自在に保持する。摺動体17の上部には、T字状の連結部材18を一体的に設け、連結部材18の自由端18aとステージ11の下面とを揺動自在に連結する。この連結に際し、ステージ11は連結部材18を軸として回転しないようにする。超音波振動子1に楕円振動を生じさせ、その振動方向に摺動体17はローラ22に支持されつつ回動し、その反対方向にステージ11は平面的に移動する。このとき、ローラ22は上下方向にしかし回転しないため、摺動体17が連結部材18回りに回転するのを防ぐ。
請求項（抜粋）：
球面の一部をなす摺動面を有して摺動自在に支持した摺動部材と、定在波を発生し前記摺動面にその摺動端を接して摺動部材に駆動力を与える超音波振動子を備えたことを特徴とする位置出し装置。
IPC (5件)：
B23Q 1/18
, G05D 3/00
, H01L 21/027
, H01L 21/68
, H02N 2/00
