特許

J-GLOBAL ID：200903043709599417

基板支持装置

発明者： 川村 秀司 ,  松原 寿人
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 岡部 正夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-075597
公開番号（公開出願番号）：特開平9-266241
出願日： 1996年03月29日
公開日（公表日）： 1997年10月07日
要約：

【要約】【課題】 基板保持装置から基板の持ち上げを容易かつ高速に行う基板の持ち上げ装置を提供する。【解決手段】 基板を基板保持装置から持ち上げるに際し、最初に基板周辺部をわずかに持ち上げてから基板の全体を持ち上げる構成とした。

請求項（抜粋）：

基板保持装置の基板載置面に載置された基板を基板下側から持ち上げるための基板持ち上げ用の主持ち上げ部材と、基板載置面に載置された基板の周辺部を基板の下側から主持ち上げ部の持ち上げ作用に先立ってわずかに持ち上げるための基板持ち上げ用副持ち上げ部材とを有することを特徴とする基板支持装置。

IPC (7件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/02 ,  B65G 49/07 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (8件)：

H01L 21/68 N ,  B23Q 3/02 A ,  B65G 49/07 E ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 503 A ,  H01L 21/30 515 G