特許
J-GLOBAL ID:200903043713607688

光学部材検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 松岡 修平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-164827
公開番号(公開出願番号):特開平8-334434
出願日: 1995年06月07日
公開日(公表日): 1996年12月17日
要約:
【要約】【目的】 客観的な基準に基づいて光学部材の良否を判断することができる光学部材検査装置およびその方法の提供を目的とする。【構成】 光源10から発した光束を拡散透過率が異なる周辺領域21と中心領域22とを有する液晶パネル20により拡散させて被検レンズ1を透過させ、この被検レンズをCCDカメラ30により撮影する。画像処理装置40は、画像出力に基づいて被検レンズの欠陥を判定し、被検レンズ1の情報をモニタディスプレイ50に表示する。液晶ディスプレイ20は、制御手段60により制御されて分光透過率を変化させ、被検レンズ1に入射する光束の波長を選択する。
請求項(抜粋):
光源と、拡散透過率の高い周辺領域、および拡散透過率の低い中心領域を有し、前記光源から発した光束を拡散させる拡散手段と、該拡散手段を透過して被検物である光学部材を透過した光束を受光する位置に設けられ、前記被検物を撮影する撮影手段と、前記被検物に入射する光束の波長を選択する波長選択手段と、該撮影手段から出力される画像信号に基づいて前記被検物の欠陥を判定する判定手段とを備えることを特徴とする光学部材検査装置。

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