特許

J-GLOBAL ID：200903043714086010

研磨装置

発明者： 石田 全寛 ,  秦 晶一 ,  綱田 雅文 ,  長倉 靖彦 ,  大石 俊夫
出願人/特許権者： 東芝機械株式会社 ,  株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-213465
公開番号（公開出願番号）：特開平8-071916
出願日： 1994年09月07日
公開日（公表日）： 1996年03月19日
要約：

【要約】【目的】研磨布の交換が容易、かつ短時間で行えると共に、この間、装置の稼働が可能で、生産性の向上が図れ、しかも、研磨剤や加工屑の飛散によるクリーン度の低下を防止し得るようにした研磨装置を提供する。【構成】定盤4の上に、表面に研磨布6を固定した上部定盤8を交換可能に載置した構成とし、研磨布8の交換時には、その上部定盤6ごと交換することができるようにした、また、上部定盤8や定盤4を、軽量で、機械的強度が高く、かつ熱変位の少くて良好な平坦度を維持できる炭素繊維強化プラスチック(CFRP)製としたものである。

請求項（抜粋）：

回転駆動される定盤と、この定盤の上に交換可能に載置され、その表面に研磨布を固定した上部定盤と、 この上部定盤に対向して設けられ、被研磨材を保持すると共にこの保持した被研磨材を前記研磨布の表面に押圧した状態で前記定盤の半径方向に移動させながら回転する研磨ヘッドと、前記研磨布上に研磨剤を供給する研磨剤供給装置と、を具備してなることを特徴とする研磨装置。

IPC (2件)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304 321

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特公昭60-028634
  
• 特開昭60-191763
  
• 特公平4-079790