特許

J-GLOBAL ID：200903043714804991

共焦点走査型顕微鏡

発明者： 木村 俊仁
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 柳田 征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-211899
公開番号（公開出願番号）：特開平5-053059
出願日： 1991年08月23日
公開日（公表日）： 1993年03月05日
要約：

【要約】【目的】 共焦点走査型顕微鏡において、光検出器の前に配置される絞り手段の位置調整を容易にできるようにする。【構成】 平行光である照明光11をスリット板7に通してそのビーム断面形状を細長いものとし、それにより細長い形状となった点像Qを、その長さ方向に交わる向きのスリット27aを有するスリット板27を通して、光検出器28により検出する。

請求項（抜粋）：

試料が載置される試料台と、照明光を発する光源と、この照明光を試料上において微小な光点として結像させる送光光学系と、前記試料からの光束を集光して点像に結像させる受光光学系と、この点像を検出する光検出器と、前記光点を試料上において2次元的に走査させる走査手段とを備えてなる共焦点走査型顕微鏡において、前記照明光を細長い断面形状に成形する手段と、細長い形状となった前記点像の長さ方向と交わって延びるスリットを有するスリット板とが設けられたことを特徴とする共焦点走査型顕微鏡。