特許
J-GLOBAL ID：200903043722151638
基板供給装置およびこれを用いた露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-247245
公開番号（公開出願番号）：特開平8-088263
出願日： 1994年09月14日
公開日（公表日）： 1996年04月02日
要約：
【要約】【目的】 ロボットやハンドの駆動部を効率よく排気して発熱や発塵を防ぐ。【構成】 収納棚21に収納されたレチクルカセットCを昇降ロボット装置22のロボット22cによって取り出して搬送ハンド装置23に受け渡し、レチクルハンド23cによってレチクルRを取り出して露光台10のレチクルステージ15に搬入する。搬送ハンド装置23の駆動部23dと収納棚21と昇降ロボット装置22の駆動部22dはそれぞれ小型のファン25a〜25cによって必要な時だけ個別に排気される。
請求項（抜粋）：
収納手段から基板を取り出して所定の位置決めステージに搬送する搬送手段を有し、該搬送手段が複数の駆動部を備えており、各駆動部に、これを個別に排気する排気手段が設けられていることを特徴とする基板供給装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, G03F 7/20 521
, G03F 9/00
, H01L 21/027
