特許

J-GLOBAL ID：200903043722310752

ダイシング装置およびダイシング方法

発明者： 高岸 誠次 ,  伊藤 栄三
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-026362
公開番号（公開出願番号）：特開平5-226468
出願日： 1992年02月13日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：

【要約】【目的】 ダイシング中にテープの粘着剤が付着せず、安定したダイシングブレードの性能を維持でき、かつ、切削中の位置精度の向上を図る。【構成】 θ軸1に固定したチャックテーブル2の上端面内にポーラス焼結体3が埋設され、真空配管4で真空引きを行い、ウェハ6をチャックテーブル2に固定する。ウェハ6は、テープ5でマウントされたまま、ダイシングブレード8を高速回転させて、切削する。そして、チャックテーブル2内には冷却用冷媒管9が配管されて、冷媒を通すことにより、チャックテーブル2を冷却し、テープ5を冷却する。

請求項（抜粋）：

θ軸上に固定されたチャックテーブルと、このチャックテーブルの上端面内に埋設された真空吸着部材とからなり、テープにマウントされたウェハを前記真空吸着部材を真空引きすることにより、前記チャックテーブル上に固定載置し、ダイシングブレードによって、切削するダイシング装置において、前記チャックテーブル内に冷却機構を備えたことを特徴とするダイシング装置。