特許
J-GLOBAL ID：200903043726884486
差動仮想接地ビームブランカ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-049944
公開番号（公開出願番号）：特開平7-073835
出願日： 1994年02月24日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：
【要約】【目的】 ブランカ電圧プレート301、302を通る逆平行電流流れを保証することにより望ましくない渦電流を除去し得る二重偏向ビームブランカ100においてビームジツタを最小にする方法を提供することにある。【構成】 擬似電気力学的作用が機械的にコンパクトな、低いキヤパシタンス、幾何学的に対称な、差動駆動のブランカ構体の使用により減少されるかまたは除去される。これは内部ケーブルまたはSMA-型発射装置の必要を除去しかつ装置接地に対する堅固な金属電気機械的接触を有する。
請求項（抜粋）：
第1プレートおよび第2プレートを有する二重偏向ビームブランカにおいてビームジツタを最小にするビームジツタ最小化方法において、前記第1および第2プレートを結合し;第1電圧源を前記第1プレートに設け、それにより前記第1プレートに第1の電流流れを作り;そして第2電圧源を前記第2プレートに設け、それにより前記第2プレートに第2の電流流れを作る工程からなることを特徴とするビームジツタ最小化方法。
IPC (6件)：
H01J 37/09
, G03F 7/20 504
, G03F 7/20 521
, G21K 5/04
, H01J 37/305
, H01L 21/027
