特許

J-GLOBAL ID：200903043731276591

ウエハー梱包及びウエハー梱包方法

発明者： 松葉瀬 昭
出願人/特許権者： 日鐵運輸株式会社
代理人 (1件)： 榎本 一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-194759
公開番号（公開出願番号）：特開2000-025885
出願日： 1998年07月09日
公開日（公表日）： 2000年01月25日
要約：

【要約】【課題】 輸送中の破損や荷崩れを防止し、資材費や輸送費を削減し省資源性に優れ、搬送性を著しく向上することのできるウエハー梱包の提供を目的とする。【解決手段】 本発明のウエハー梱包は、a)側壁部3を備えたボックスパレット1と、b)ボックスパレット1のデッキボード2a上に載置された緩衝材7と,緩衝材7の上に載置され1以上のウエハーカセット収納部9を備えたウエハーカセット保持部材8と,ウエハーカセット収納部9に収納されたウエハーカセット21と,を備えた1段目のユニットと、c)1段目のユニットの上に同様にして1乃至複数段載置された2段目以降のユニットと、d)最上段のユニットのウエハーカセット21の上に載置された天井緩衝材7aと、e)天井緩衝材7a上に覆設された蓋部4と、を備えた構成を有している。

請求項（抜粋）：

a)側壁部を備えたボックスパレットと、b)前記ボックスパレットのデッキボード上に載置された緩衝材と,前記緩衝材の上に載置され1以上のウエハーカセット収納部を備えたウエハーカセット保持部材と,前記ウエハーカセット収納部に収納されたウエハーカセットと,を備えた1段目のユニットと、c)前記1段目のユニットの上に同様にして1乃至複数段載置された2段目以降のユニットと、d)最上段のユニットのウエハーカセットの上に載置された天井緩衝材と、e)前記天井緩衝材上に覆設された蓋部と、を備えたことを特徴とするウエハー梱包。

IPC (2件)：

B65D 85/86 ,  H01L 21/68

FI (2件)：

B65D 85/38 R ,  H01L 21/68 T

Fターム (27件)：

3E096AA03 ,  3E096BA16 ,  3E096BB03 ,  3E096CA21 ,  3E096CB03 ,  3E096DA01 ,  3E096DA03 ,  3E096DA14 ,  3E096DA17 ,  3E096DA23 ,  3E096DA25 ,  3E096DA30 ,  3E096DB06 ,  3E096DC02 ,  3E096EA01X ,  3E096EA02X ,  3E096EA03Y ,  3E096EA06X ,  3E096EA07Y ,  3E096EA09X ,  3E096FA29 ,  3E096FA30 ,  3E096GA01 ,  5F031BB02 ,  5F031BB04 ,  5F031BB10 ,  5F031BC01