特許
J-GLOBAL ID:200903043736225189
レーザ光分離装置及びこれを用いた自由電子レーザ装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鎌田 文二 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-250517
公開番号(公開出願番号):特開平10-098239
出願日: 1996年09月20日
公開日(公表日): 1998年04月14日
要約:
【要約】【課題】 自由電子レーザ(FEL)装置で異なる波長のレーザ光を発生させ、これをレーザ光分離装置で分離したレーザ光を集光し同時に分配すると共に、この広波長域の複数種類のレーザ光を利用可能として各種用途への利用範囲を広める。【解決手段】 FEL装置は電子加速器1とアンジュレータ4と反射ミラー7、7から成る光共振器から成る。反射ミラー7、7の反射面には銀コート7bが施され、これにより基本波だけでなく高調波成分も増幅させ、小穴7aから外部へ取り出されレーザ光分離装置10における偏向ミラー11a、11b、11cでそれぞれの波長ごとに分離される。そして、分離した各レーザ光を集光レンズ12a、12b,12cでスポット径が各波長近くになるまで集光する。
請求項(抜粋):
異なる波長成分を含むレーザ光の経路に沿って並ぶ複数枚の偏向ミラーからなり、これら偏向ミラーを、それぞれの穴径を順次絞った複数枚の穴付偏向ミラーと、これら穴付偏向ミラーに連続して並ぶ穴無し偏向ミラーとして、これら偏向ミラーで上記レーザ光を各波長ごとに反射させて分離するようにし、この分離させた各波長のレーザ光を、集光レンズにより集光して、各レーザ光のスポット径をその波長近くになるようにしたレーザ光分離装置。
IPC (2件):
FI (2件):
H01S 3/30 A
, H01S 3/00 G
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