特許
J-GLOBAL ID：200903043739300033
レーザ加工装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山田 恒光 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-021953
公開番号（公開出願番号）：特開平6-216442
出願日： 1993年01月14日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：
【要約】【目的】 レーザ光の歪を補正してビーム品質の改良と、レーザエネルギの高密度化により、レーザ加工精度の向上を図る。【構成】 レーザアンプ1の出力鏡3に対向する反射鏡として位相共役鏡11を用い、レーザアンプ1で増幅されてから出射されたレーザ光6を加工物体9側へ導くために光ファイバ13を使用し、光ファイバ13の加工物体9側端部と集光レンズ系10との間にビームスプリッタ14を設けると共に、種となる光15をビームスプリッタ14から光ファイバ13を介してレーザアンプ1の位相共役鏡11に照射可能なマスタオシレータ16を、ビームスプリッタ14の側方に設ける。
請求項（抜粋）：
出力鏡に対向する反射鏡として位相共役鏡を用いたレーザアンプと、該レーザアンプで増幅されてから出射されたレーザ光を加工物体側へ導く光ファイバと、該光ファイバの加工物体側端部から出たレーザ光を透過せしめるビームスプリッタと、該ビームスプリッタを透過したレーザ光を加工物体の表面に集光せしめる集光レンズ系と、種となる光を前記ビームスプリッタから光ファイバを介してレーザアンプの位相共役鏡に照射可能なマスタオシレータとを備えたことを特徴とするレーザ加工装置。
IPC (3件)：
H01S 3/08
, B23K 26/00
, B23K 26/06
