特許

J-GLOBAL ID：200903043744173643

熱処理炉

発明者： 前川 俊一 ,  福永 洋一
出願人/特許権者： 双栄通商株式会社 ,  セミックスエンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 西田 新
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-123332
公開番号（公開出願番号）：特開平8-316157
出願日： 1995年05月23日
公開日（公表日）： 1996年11月29日
要約：

【要約】【目的】 処理温度が異なる複数の加熱領域を設けた構造であっても、ボートをベアリング等を使用することなく安定に支持することが可能な構造の熱処理炉を提供する。【構成】 炉体1の端部に大小二つの径の円筒壁で構成される二重構造部10を設け、その二つの円筒壁間にボート2を支持する複数本の支持棒(または円筒体)と支持マグネットを配置するとともに、小径円筒壁の内方もしくは大径円筒の外方の少なくとも一方の位置に駆動マグネットを設け、この駆動マグネットと支持マグネットとの間に働く磁力によりボート2を浮揚させ、さらに、駆動マグネットの移動により、ボート2が炉体1の各加熱領域T1 またはT2 に選択的に移動するように構成している。

請求項（抜粋）：

円筒形状の密閉容器で軸方向に沿って処理温度が互いに異なる少なくとも二つの加熱領域が設けられた炉体と、その各加熱領域をそれぞれ所定の温度に加熱する加熱手段と、炉体内部に配設され上記加熱領域の各位置に移動自在なボートと、炉体軸を中心として回転対称に配置された複数本の支持棒または炉体軸を中心とする円筒体からなり、一端で上記ボートを支持するボート支持部と、このボート支持部の他端に固着された支持マグネットと、炉体外部で上記支持マグネットと対向する位置に配置される駆動マグネットと、この駆動マグネットを炉体の軸方向に沿って上記ボートが上記加熱領域の各位置に達するのに必要な距離だけ移動する駆動部を備えているとともに、上記支持マグネットと駆動マグネットはそれぞれ互いに引き合う磁力が働くように構成されてなる熱処理炉。

IPC (6件)：

H01L 21/22 511 ,  C30B 33/02 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/324 ,  C23C 16/44

FI (6件)：

H01L 21/22 511 B ,  C30B 33/02 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31 E ,  H01L 21/324 D ,  C23C 16/44 G