特許
J-GLOBAL ID：200903043744376250
ウエハボート
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木下 茂 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-222330
公開番号（公開出願番号）：特開2000-040667
出願日： 1998年07月21日
公開日（公表日）： 2000年02月08日
要約：
【要約】【課題】 ウエハボ-トの繰り返し酸洗浄によっても、ウエハボ-トがガタつくことなく、強固で耐久性に優れたウエハボ-トを提供することを目的とする。【解決手段】 半導体ウエハを保持する保持溝を有すると共に、下部から上部に向かって徐々に相当径が小さくなるテ-パ部2bを有する複数のロッド2と、前記ロッド2の上端部に配置されて前記ロッド2を固定する第1のプレート3と、前記ロッド2の下端部に配置されて前記ロッド2を固定する第2のプレート4と、前記第1、第2のプレ-ト3、4に形成されたロッド2が挿通されるロッド挿通穴と3a、4a、前記ロッド挿通穴3a、4aに嵌合するスぺ-サ5と、前記スぺ-サ5に形成され、下部から上部に向かって徐々に相当径が小さくなるテ-パ部5cを有し、ロッドのテ-パ部が嵌合する貫通穴5bと、前記ロッド2が嵌合したスペーサ5をプレート3、4に押圧する固定駒6とを備えている。
請求項（抜粋）：
半導体ウエハを保持する保持溝を有すると共に、下部から上部に向かって徐々に相当径が小さくなるテ-パ部を有する複数のロッドと、前記ロッドの上端部に配置されて前記ロッドを固定する第1のプレートと、前記ロッドの下端部に配置されて前記ロッドを固定する第2のプレートと、前記第1、第2のプレ-トに形成されたロッドが挿通されるロッド挿通穴と、前記ロッド挿通穴に嵌合するスぺ-サと、前記スぺ-サに形成され、下部から上部に向かって徐々に相当径が小さくなるテ-パ部を有し、ロッドのテ-パ部が嵌合する貫通穴と、前記ロッドが嵌合したスペーサをプレートに押圧する固定駒とを備えていることを特徴とするウエハボート。
IPC (2件)：
H01L 21/22 511
, H01L 21/68
H01L 21/22 511 G
, H01L 21/68 N
