特許

J-GLOBAL ID：200903043745161363

キャリア及びキャリア内のウエハ検出方法

発明者： 佐伯 弘明 ,  浅川 輝雄
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-134363
公開番号（公開出願番号）：特開平10-308438
出願日： 1997年05月08日
公開日（公表日）： 1998年11月17日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】ウエハ検出器の設置スペースの削減を図ってキャリア搬送の邪魔にならず、しかもキャリアの光学的精度の出来具合に左右されることなく高精度にウエハの有無を確実に検出することができるキャリア及びキャリア内のウエハ検出方法を提供する。【解決手段】キャリア10は、複数のウエハWをそれぞれ一定の間隔を空けて収納するキャリア本体11と、このキャリア本体11のウエハ取出口に着脱可能に取り付けられた蓋12とを有するキャリア10において、蓋12の内面に各ウエハWを挟む突起を各ウエハWに対応して設けると共に、キャリア本体11内に導入されるウエハWとの平行光線L1を各ウエハWを横切る方向に変換する光路変換手段32、即ちハーフミラー12B、12Cを各突起に設けたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

複数のウエハをそれぞれ一定の間隔を空けて収納するキャリア本体と、このキャリア本体のウエハ取出口に着脱可能に取り付けられた蓋とを有するキャリアにおいて、上記キャリア本体または上記蓋に上記各ウエハを挟む突起を上記各ウエハに対応して設けると共に、上記キャリア本体内に導入される上記ウエハとの平行光線を上記各ウエハを横切る方向に変換する光路変換手段を上記各突起に設けたことを特徴とするキャリア。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65D 85/86 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

H01L 21/68 L ,  H01L 21/68 T ,  H01L 21/66 Z ,  B65D 85/38 R