特許
J-GLOBAL ID:200903043749637486

蛍光X線分析装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岡田 和秀
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-266437
公開番号(公開出願番号):特開平8-128974
出願日: 1994年10月31日
公開日(公表日): 1996年05月21日
要約:
【要約】【目的】 試料の測定中に、試料を円滑に回転するとともに、試料をX線管にできるだけ接近できるようにして、従来よりも一層分析感度を高める。【構成】 リフト機構34の上に、試料sを回転させる駆動源48を有する回転機構46がリフト機構34と同軸に載置されている。
請求項(抜粋):
真空チャンバ内に分析室が形成され、この分析室内にX線管が臨んで設けられる一方、分析対象となる試料を前記分析室内に臨む位置まで昇降させるリフト機構を備えた蛍光X線分析装置において、前記リフト機構の上に、試料を回転させる駆動源を有する回転機構がリフト機構と同軸に載置されていることを特徴とする蛍光X線分析装置。

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